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理想能源设备有限公司发布的MOCVD设备

发布时间:2019-08-15 17:45:01

  理想能源设备(上海)有限公司专注于半导体、高效异质结太阳能电池及新型显示领域的高端装备开发及服务,团队主要成员来自中国、美国、日本、韩国的国际知名半导体设备企业。其中MOCVD设备具有多种机型供客户选择:生产型单反应腔系统以及全自动多腔体簇式系统,已通过业界领先供应商工艺验证并投入量产。

  其MOCVD具有以下优点:

  生产效率高

  单反应腔设备可容纳90x2 或24x4 衬底,多腔簇式设备可容纳270x2 或72x4 衬底,产能业界最高;

  多腔簇式设备具有独立的反应腔、传输腔,集成预热冷却腔,生产效率可提升25%;

  直接生产成本低

  创新的加热器设计,控温精准,外延生长均匀性好,良品率高;

  采用新型反应气体分布设计,最大程度减少源材料及特气消耗量,显著降低客户使用成本;

  运营维护成本低

  排布紧凑,节省洁净室空间;

  核心部件特殊处理与设计,高温、高真空下可靠性高,减少停机时间;

  采用动态反馈控制的反应腔加热系统,可操控性高,为客户提供功能强大的操作界面及灵活的工艺菜单及数据管理系统,提高设备利用率。

  差异化设计突出

  可实现特殊工艺。

  单腔及簇式MOCVD设备

  产能最大的单反应腔体

  工业化验证的软件系统,适用于大规模生产

  稳定、精确的温度控制,提高系统的可靠性和重复性

  温度均匀、稳定、重复的量子阱生长,提高产品良率

  自主知识产权的喷淋头设计,气体在衬底表面完全混合

2009年重庆会务D轮企业
2013年郑州体育企业
2009年广州零售C+轮企业
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